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氧氮空分设备是一套从空气中同时提取氧气、氮气的空分设备。深冷空分制氧设备是一种带有透平膨胀机的新型的
工艺流程。 经过纯化的进塔空气在主热交换器中与返流气体换热，被逐渐冷却为饱和空气，并有少量液化，

然后进入下塔进行精馏。精馏就是利用氧、氮沸点不同在分馏塔内进行多次部分蒸发和部分冷凝获得纯氧

、纯氮的过程。下分馏塔的作用是制取液空和液氮。主冷凝蒸发器的作用是使低压下不同压力的液氧蒸发

和气氮冷凝，上分馏塔的作用是获得产品氧气和氮气。